Оптические параметры нанокомпозитных плёнок пористого оксида алюминия c квантовыми точками кремния или германия

Abstract

Сформированы наноструктуры волноводного типа на основе плёнки золота, покрытой нанокомпозитной плёнкой пористого оксида алюминия, содержащей наночастицы кремния или германия. Пористые нанокомпозитные плёнки с профилем толщины, близким к клину, получены импульсным лазерным осаждением в атмосфере аргона на подложку, расположенную в плоскости мишени. Измерены угловые зависимости интенсивности внутреннего отражения R(θ) в геометрии Кречмана на длине волны λ = 650 нм. Аппроксимация экспериментальных зависимостей R(θ) оптической моделью позволила определить эффективные значения показателей преломления neff и коэффициентов поглощения keff полученных плёнок. Определено, что значения neff лежат в диапазоне 1,38—1,65, а keff = 0,003—0,04.Сформовано наноструктури хвилевідного типу на основі плівки золота, що вкрита нанокомпозитною плівкою пористого оксиду алюмінію, який містить наночастинки кремнію або германію. Пористі нанокомпозитні плівки з профілем товщини, близьким до клина, одержано імпульсним лазерним осадженням в атмосфері арґону на підложжя, розташоване в площині цілі. Виміряні кутові залежності інтенсивности внутрішнього відбивання R(θ) в Кречмановій геометрії на довжині хвилі λ = 650 нм. Апроксимація експериментальних залежностей R(θ) оптичною моделлю уможливила визначити ефективні значення показників заломлення neff і коефіцієнтів поглинання keff одержаних плівок. Визначено, що значення neff лежать у діапазоні 1,38—1,65, а keff = 0,003—0,04.The waveguide-type nanostructures based on porous aluminium-oxide nanocomposite film containing silicon or germanium nanoparticles formed on gold film are investigated. Porous nanocomposite films with the thickness profile close to the wedge are obtained by pulse-laser deposition in an argon atmosphere on a substrate located within the plane of the target. The angular dependence of the intensity of internal reflection, R(θ), in the Krechman geometry at a wavelength λ = 650 nm is measured. The approximation of experimental dependences of R(θ) by the optical model allows determining the effective values of the refractive indexes, neff, and absorption coefficients, keff, of the films. As determined, the values of neff are in the range 1.38—1.65, and keff = 0.003—0.04.