Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий

Abstract

В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением плазмой низкоэнергетического тлеющего разряда, горящего в нестабильном режиме ВЧ-колебаний падения катодного потенциала в процессе вакуумно-дугового осаждения как на начальной стадии – ионной очистки при Т ≤ 100 °С (вместо стандартного использования аномального тлеющего разряда), так и/или после завершения процесса конденсации.У роботі показана можливість та доцільність додаткового підвищення мiцностi (мікротвердість) і службових (ерозійне зношування) характеристик композитів “підкладка-конденсат” (на прикладі нержавіючої сталі з TiN покриттям) шляхом використання ефекту глибинного модифікування їхніх властивостей опроміненням плазмою низкоэнергетичного тліючого розряду, що горить у нестабільному режимі ВЧ коливань падіння катодного потенціалу у процесі вакуумно-дугового осадження як на початковій стадії – іонного очищення при Т ≤ 100 °С (замість стандартного використання аномального тліючого розряду), так й/або після завершення процесу конденсації.In work the expediency of additional increase strengses (microhardness) and service (erosive deterioration) characteristics of composites “substrate-condensate” (is shown also by the example of stainless steel with TiN a covering) by use of effect of deep updating their properties by an irradiation by plasma of the low-energy glow-discharge burning in an astable mode of RF-fluctuations of falling of cathodic potential during vacuum-arc deposition as at an initial stage – ionic clearing at Т ≤ 100 °С (instead of standard use of the abnormal glow-discharge), and/or after end of process of condensation.