Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass

Abstract

The aim of this work was to study the optical and electrical properties of thick ITO-Ag-ITO multilayer coating onto glass. ITO-Ag-ITO coatings with thickness of ITO layers 110 nm, 185 nm and intermediate Ag layer thickness 40 nm were prepared by magnetron sputtering. The optical, electrical and atomic properties of the coating were examined by scanning electron microscope, atomic force microscope, X-ray diffraction analysis and ultraviolet-visible spectroscopy.Целью работы было изучение оптических и электрических характеристик толстых ITO-Ag-ITO многослойных покрытий на стекле. ITO-Ag-ITO-покрытия с толщиной ITO-слоев 110, 185 нм и промежуточным слоем Ag толщиной 40 нм были изготовлены с помощью магнетронного напыления. Оптические, электрические и атомные характеристики были исследованы с помощью сканирующего электронного микроскопа, атомного силового микроскопа, рентгеновского дифракционного анализа и оптической спектроскопии.Метою роботи було вивчення оптичних та електричних характеристик товстих ITO-Ag-ITO багатошарових покриттів на склі. ITO-Ag-ITO-покриття з товщиною ITO-шарів 110 і 185 нм та проміжним шаром Ag товщиною 40 нм було виготовлено за допомогою магнетронного напилення. Оптичні, електричні та атомні характеристики такого покриття були досліджені із застосуванням скануючого електронного мікроскопа, атомного силового мікроскопа, рентгенівського дифракційного аналізу та оптичної спектроскопії.