Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения

Abstract

Методами растровой электронной микроскопии, рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов изучены особенности структурообразования покрытий системы Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым осаждением. Установлены зависимости состава и свойств покрытий от технологических параметров осаждения.Методами растрової електронної мікроскопії, рентгенофазового та рентгеноспектрального аналізу вивчені особливості структуроутворення покриттів системи Zr-Ti-Si-N, отриманих вакуумно-дуговим осадженням. Встановлено залежність складу та властивостей покриттів від технологічних параметрів осадження.The characteristic of structure formation of Zr-Ti-Si-N coatings system formed by the method of the vacuum-arc deposition was investigated by the methods of raster electronic microscopy, and X-ray spectrometry analysis. Dependences of composition and properties of coatings on the technological parameters of deposition were shown.