О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения

Abstract

Микро, -нанослойный характер структуры формирующегося TiNx покрытия устанавливается путем наблюдения относительного изменения интенсивности отраженного лазерного излучения от поверхности конденсации в процессе вакуумно-дугового осаждения титана. Приводятся электронномикроскопические, рентгендифрактометрические, дюрометрические характеристики таких покрытий. Показывается микрослоистый характер их разрушения под воздействием сосредоточенной нагрузки. Высказываются предположения о возможном механизме формирования слоистых покрытий в условиях вакуумно-дугового осаждения.Мікро, -наношаруватий характер структури TiNx покриттів, які формуються, встановлено шляхом спостереження за відносною зміною інтенсивності відбитого лазерного випромінювання поверхнею конденсації під час вакуумно-дугового осадження титану. Наведено електронномікроскопічні, рентгендифрактометричні, дюрометричні характеристики таких покриттів. Показано мікро шаруватий характер їх руйнування під дією засередженного навантаження. Висловлено припущення про можливий механізм формування шаруватих покриттів в умовах вакуумно-дугового осадження.The micro-, nanolayer character of TiNx coating structure is established by observing relative variations in the intensity of laser radiation reflected from the condensation surface during vacuum-arc deposition of titanium. Electron microscopy, X-ray diffractometry and durometry characteristics of the coatings are presented. The microlayered character of their failure under the action of concentrated load is demonstrated. Suggestions are made about a possible mechanism of layered coating formation under vacuum-arc deposition conditions.