Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий

Abstract

Получены вакуумно-дуговые TiN покрытия, осаждаемые в условиях имплантации металлических и газовых ионов, обладающие сверхвысокой твердостью 40 ÷ 53 ГПа. Синтез покрытий осуществлялся при температурах подложки от 105 до 320 °C, что расширяет круг обрабатываемых материалов, включая нанесение покрытий на изделия из конструкционных сталей, алюминиевых и медных сплавов.Отримані вакуумно-дугові Tі покриття, які осаджуються в умовах імплантації металевих і газових іонів, що мають надвисоку твердість 40 ÷ 53 ГПа. Синтез покриттів здійснювався при температурах підкладки від 105 до 320 °C, що розширює коло оброблюваних матеріалів, включаючи нанесення покриттів на вироби з конструкційних сталей, алюмінієвих і мідних сплавів.Vacuum-arc TiN coatings, deposited under metal and gas ion implantation and possessing superhigh hardness of 40 ÷ 53 GPa were obtained. The synthesis of the coatings was carried out under the substrate temperatures from 105 to 320 °C, which enlarges the circle of treated materials including coatings plating on structural steel items and items of aluminium and copper alloys.