Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства

Abstract

Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной зависимости от давления не имеется, однако заметна тенденция к повышению твердости с его увеличением. Количество капельной фазы в покрытиях, осажденных при низком давлении азота (0,02 Па), остается относительно большим, несмотря на наличие высоковольтных импульсов на подложке в процессе осаждения. В покрытиях, осажденных при давлении 0,66 Па и более, капельная фаза отсутствует.Досліджено залежність твердості надтвердих вакуумно-дугових TіN покриттів від тиску азоту в процесі осадження в діапазоні 0,02 ÷ 1 Па. Показано, що на відміну від звичайних вакуумно-дугових TіN покриттів явно вираженої залежності від тиску немає, однак помітна тенденція до підвищення твердостіз його збільшенням. Кількість краплинної фази в покриттях, осаджених при низькому тиску азоту (0,02 Па), залишається відносно великим, незважаючи на наявність високовольтних імпульсів на подкладинці в процесі осадження. У покриттях, осаджених при тиску 0,66 Па й більше, краплинна фаза відсутня.The hardness of superhard vacuum-arc TiN coatings has been investigated versus nitrogen pressure during deposition in the pressure range from 0,02 to 1 Pa. It has been demonstrated that unlike usual vacuum-arc TiN coatings, the superhard coatings show no pronounced dependence on pressure, though there is a noticeable tendency for hardness to increase with pressure. The quantity of drop phase in the coatings deposited at a low nitrogen pressure (0,02 Pa) remains relatively great despite the presence of high-voltage pulses on the substrate during deposition. In the coatings deposited at a pressure of 0,66 Pa and higher, the drop phase is absent.