Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм

Abstract

Рассмотрены проблемы синтеза, аттестации и термической обработки периодических многослойных рентгеновских зеркал Со/С. Описан метод согласования отражения рентгеновского излучения в пределах полной апертуры двухзеркальной оптической системы-объектива Шварцшильда. Показано, что, установка диафрагмы между источником и сферической подложкой и перемещение подложки с ускорением обеспечивают необходимое распределение периода многослойного покрытия вдоль поверхности зеркал.Розглянутi проблеми синтезу, атестації і термічної обробки періодичних багатошарових рентгенівських дзеркалСо/С. Описаний метод узгодження відбиття рентгенівського випромінювання в межах повної апертури дводзеркальної оптичної системи-об’єктива Шварцшильда. Показано, що встановлення діафрагми між джерелом і сферичною підкладкою та переміщення підкладки з прискоренням забезпечують необхідний розподіл періоду багатошарового покриття вздовж поверхні дзеркал.Synthesis, testing and thermal annealing of the Co/C multilayer x-ray mirrors have been considered. The method of matching the reflection of x-rays in the clear aperture of the two-mirror Schwarzschild system has been proposed. It has been shown that applying of a shadow mask between the magnetron sources and substrate with its accelerated moving provides necessary period distribution along the mirror surface.