Применение многокомпонентных катодов, полученных электронно-лучевым плавлением, для формирования сверхтвердых нанокомпозитных покрытий

Abstract

Изложены методы формирования и результаты применения многокомпонентных катодов, получаемых электронно-лучевым плавлением для формирования сверхтвердых покрытий на основе Zr, Ti, Si и N и Ti, Hf, Si и N способом вакуумно-дугового осаждения. Исследовано соответствие элементного состава синтезированных покрытий составу распыляемого катода.Викладені методи формування і результати застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням для формування надтвердих покриттів на основі Zr, Ti, Si і N та Ti, Hf, Si і N способом вакуумно-дугового осадження. Досліджено відповідність елементного складу синтезованих покриттів складу розпиленого катоду.Methods for obtaining and results of the application of multi-component cathodes produced electronbeam melting to form a super-hard coatings on the basis of Zr, Ti, Si and N and Ti, Hf, Si and N means of vacuum arc deposition. Investigated compliance with the elemental composition of the synthesized coating composition of the sputtering cathode.