О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd

Abstract

Исследовано формирование однородного твердого раствора в слоистой пленочной системе Ag-Pd с толщиной слоев по 60 нм при in situ нагреве в ПЭМ. Пленочная система формировалась путем последовательной конденсации компонентов в вакууме при комнатной температуре подложки. Показано, что, начиная с температуры 180 °С, в системе Ag-Pd активируются диффузионные процессы, которые уже при температуре 350 °С приводят к полной гомогенизации пленочной системы по всей толщине.Досліджено формування однорідного твердого розчину в шаруватій плівковій системі Ag-Pd з товщиною шарів по 60 нм при in situ нагріванні в ПЕМ. Плівкова система формувалася шляхом послідовної конденсації компонентів у вакуумі при кімнатній температурі підкладки. Показано, що, починаючи з температури 180 °С, в системі Ag-Pd активуються дифузійні процеси, які вже при температурі 350 °С призводять до повної гомогенізації плівкової системи по всій товщині.The formation of homogeneous solid solution in Ag-Pd layered film system with 60 nm layer thick was investigated by means of in situ TEM heating. The film system was formed by sequential deposition of components in vacuum on the substrate at room temperature. It has been shown that diffusion processes in the system under study were activated starting from a temperature 180 °С. These processes were completed at 350 °С and led to a total homogenization of the film system over its entire thickness. Keywords: film system Ag-Pd, in situ TEM heating, homogenization.