Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Анотація
Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц.
Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок.
The Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry.
Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок.
The Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry.
Опис
Теми
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Цитування
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.