Геликоновые генераторы плазмы для аналитических приложений

Abstract

Созданы геликоновые генераторы водородной/гелиевой/аргоновой плазмы для использования в инжекторах ионов, масс-спектрометрах с индуктивно связанной плазмой и атомно-эмиссионных спектрометрах с индуктивно связанной плазмой. Для создания продольного магнитного поля в генераторах плазмы применена компактная магнитная система с постоянными магнитами (NdFeB) и ферритами кольцевой формы. Получены следующие параметры генераторов: плотность плазмы 10¹¹…9·10¹² смˉ³ при ВЧ-мощности, вводимой в плазму, < 350 Вт (fВЧ=27.12 МГц) и рабочем давлении в разрядной камере 10…100 мТорр.Створені геліконові генератори водневої/гелієвої/аргонової плазми для використання в інжекторах іонів, мас-спектрометрах з індуктивно зв'язаною плазмою та атомно-емісійних спектрометрах з індуктивно зв'язаною плазмою. Для створення поздовжнього магнітного поля в генераторах плазми застосована компактна магнітна система з постійними магнітами (NdFe) і феритами кільцевої форми. Отримано наступні параметри генераторів плазми: щільність плазми 10¹¹…9·10¹² смˉ³ при ВЧ-потужності, що вводиться у плазму, < 350 Вт (fВЧ=27.12 МГц) і робочому тиску в розрядній камері 10…100 мТоррHelicon hydrogen/helium/argon plasma generators for ion injectors, ICP-MS, ICP-AES have been developed. The compact magnetic system is applied to creation of a longitudinal magnetic field in plasma generators with constant magnets (NdFeB) and the ring form ferrite. Following parameters of generators are received: plasma density of 10¹¹…9·10¹² смˉ³, pressure of 10…100 mTorr, and RF power input into the plasma < 350 W (fRF=27.12 MHz).