Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме

Abstract

С позиций равновесной термодинамики оценены некоторые закономерности процессов получения покрытий путем осаждения металлов из их летучих соединений в вакууме. Расчетные значения энергии активации химических реакций находятся в согласии с известными из экспериментов.З позицій рівноважної термодинаміки оцінено деякі закономірності процесів отримання покриття шляхом осадження металів з їх летких сполук у вакуумі. Розрахункові значення енергії активації хімічних реакцій знаходяться в згоді з відомими з експериментів.From the standpoint of equilibrium thermodynamics to assess some of the processes obtaining coatings by deposition of metals from their volatile compounds in a vacuum. In particular, the calculated activation energies for chemical reactions are in agreement with the known from the experiments.