Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме

Abstract

Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EB PVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвердости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия.Досліджено залежності морфології поверхні, структури та фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, отриманих методом EB PVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати вимірів мікротвердості та електричної міцності конденсатів оксиду алюмінію.Dependences of a surface morphology, structure and phase composition of the thick alumina condensates obtained by EB PVD on condensation temperature are investigated. Presence of a nanostructured component of various morphology and phase structure in a wide interval of temperatures of condensation is revealed. Results of microhardness and electric durability measurements of alumina condensates are also reported.