Specificity of high-pure monocrystalline silicon production for various registering and converting devices
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
In this paper, recent results of studies focused on detector-grade silicon monocrystals production are summarized and systematized. Described are the manufacturing technology of silicon rod with a diameter up to 105 mm and dislocation-free monocrystals used for fabrication of large area detectors, p-type conductivity crystals with resistivity more than 1000 Ohm·cm being prepared by the method of neutron-transmutation doping.
Опис
Теми
Цитування
Specificity of high-pure monocrystalline silicon production for various registering and converting devices / Yu.V. Trubitsyn, S.V. Zverev // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 2. — С. 195-199. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.