Влияние параметров осаждения нитридов высокоэнтро¬пийных сплавов (TiZrHfVNb)N на их структуру, состав, механические и трибологические свойства

Abstract

Методами растровой электронной и атомно-силовой микроскопии, энергодисперсионного анализа, анализа Резерфордовского обратного рассеяния ионов, рентгено-дифракционного анализа, измерениями микротвердости и трибологическими испытаниями исследованы нитриды высокоэнтропийных сплавов (TiZrHfVNb)N, полученные при помощи вакуумно-дугового испарения катода. Обнаружено влияние параметров осаждения на структуру, морфологию поверхности, распределение элементов, механические и трибологические свойства исследуемых покрытий.Методами растрової електронної та атомно-силової мікроскопії, енергодисперсійного аналізу, аналізу Резерфордівського оберненого розсіювання іонів, рентгено-дифракційного аналізу, вимірюванням мікротвердості та трибологічними випробуванями досліджено нітриди високоентропійних сплавів (TiZrHfVNb)N, отримані за допомогою вакуумно-дугового випарування катоду. Виявлено вплив параметрів осадження на структуру, морфологію поверхні, розподіл елементів, механічні та трибологічні властивості досліджуваних покриттів.Nitrides of high-entropy alloys (TiZrHfVNb)N, which were obtained by cathode vacuum-arc evaporation, were investigated using methods of scanning electronic and atomic force microscopy, energy-dispersive analysis, analysis of Rutherford ions backscattering, X-ray diffraction analysis, by measuring of microhardness and tribological tests. Influence of deposition parameters on structure, surface morphology, elements distribution, mechanical and tribological properties of investigated coatings was found.