Mechanical and Structural Studies of Ternary Mo–Zr–N Layers Deposited on Substrate by PVD

Abstract

Our study of ternary Mo–Zr–N thin layers is novel with the objective of improving certain mechanical and tribological characteristics and of finding the appropriate stoichiometry to have the microstructure, which orientates to the desired properties, using the characterization techniques: SEM, XRD, EDS, XPS, WDS and similar methods as well as nanoindentation, alternative tribometry and scratch test.Целью данной работы является совершенствование механических характеристик трёхкомпонентных покрытий, изготовленных из нитрида молибдена–циркония (Mo–Zr–N), а также нахождение соответствующей стехиометрии, ориентированной на желаемые свойства, с использованием следующих методов характеризации: SEM, XRD, EDS, XPS, WDS и др., а также наноиндентирования, альтернативной трибометрии и испытаний с помощью нанесения царапин.Метою даної роботи є поліпшення механічних характеристик трикомпонентних покриттів з нітриду молібден–цирконію (Mo–Zr–N), а також пошук відповідної стехіометрії, щоб одержати мікроструктуру, орієнтовану на очікувані властивості, з використанням наступних метод характеризації: SEM, XRD, EDS, XPS, WDS та ін., а також наноіндентування, альтернативної трибометрії та випробувань за допомогою нанесення подряпин.