Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании

Abstract

Исследованы закономерности образования формы обрабатываемой поверхности прецизионной детали при полировании. На основе обобщенной физико-статистической модели образования и удаления частиц шлама, а также метода усреднения относительной скорости перемещения инструмента и детали получены зависимости съема обрабатываемого материала, характеризующие эволюцию формы полированной поверхности и отклонение от плоскостности.Досліджено закономірності утворення форми оброблюваної поверхні прецизійної деталі при поліруванні. На основі узагальненої фізико-статистичної моделі утворення та видалення частинок шламу, а також методу усереднення відносної швидкості переміщення інструмента і деталі отримано залежності знімання оброблюваного матеріалу, що характеризують еволюцію форми полірованої поверхні та відхилення від площинності.The regularities of formation forms a surface machined precision detail in the process of polishing. On the basis of the generalized physical-statistical model of the formation and removal of particles slime, and the method of averaging the relative speed of movement of the tool and workpiece are obtained depending removal of the processed material, characterizing the evolution of the shape of the polished surface and the deviation from flatness.