Structure, optical and electrical properties of ITO films on flexible polyimide substyrates

Abstract

ITO layers on industrial polyimide films intended for high efficiency flexible CdTe solar cells have been obtained for the first time. The air-annealed ITO films obtained at the magnetron power of 1500 mW/cm2, oxygen partial pressure in the argon/oxygen mixture 3 % (vol.), and the deposition temperature 450°C show the surface resistance of 11 Ohm/D. In the photosensitivity region of the CdS/CdTe solar cells, the average transmission coefficient of the ITO/polyimide system has been found to be 72 %.Впервые на промышленных полиамидных пленках получены слои ITO для высокоэффективных гибких солнечных элементов на основе CdTe. После изготовления солнечного элемента, пленки ITO, полученные при мощности магнетрона 1500 мВт/см2, парциальном давлении кислорода в составе аргоно-кислородной смеси 3 об.% и температуре осаждения 450°С, имеют величину поверхностного электро-сопротивления 11 Ом/D. В области фоточувствительности солнечных элементов CdS/CdTe средний коэффициент пропускания гетеросистем ITO/polyimide составлял 72 %.Вперше на промислових полiамiдних плiвках отримані шари ITO для високоефективних гнучких солнячних єлємєнтів на основі CdTe. Після виготовлення сонячного елемента плівки ITO, що отримані при потужності магнетрона 1500 мВт/см2, парциальному тиску кисню в складі аргоно-кислородной суміші 3 об.% і температурі осадження 450°С, мають поверхневий опір 11 Ом/D. У області фоточутливості сонячних елементів середній коефіцієнт пропускання гетеросистем ITO/polyimide складав 72 %.