Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники

Abstract

Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности.Показано можливість in-process моніторингу форми поверхонь оптичних деталей безпосередньо в процесі полірування з використанням технології конфокальної хроматичної візуалізації. Встановлено, що існує лінійна залежність між відхиленням форми сигналу від прямокутної та зміною форми оброблюваної поверхні.The possibility of in-process monitoring form surfaces of optical components directly in the process of polishing using a chromatic confocal imaging technology. It is found that a linear relationship exists between the deviation of form signal from the rectangular waveform and change of shape the machined surface.