Применение магнетронных устройств в комплексной плазменно-иммерсионной технологии обработки поверхности

Abstract

Целью работы является исследование возможности применения плазменно-иммерсионной техноло гии для обработки внешних поверхностей трения габаритных трубчатых деталей и групповой упрочняющей обработки объемных деталей с развитой геометрией наружной поверхности. Рассматривается комплексная технология, включающая высокоинтенсивную низкоэнергетичную имплантацию азота и нанесение наноструктурного функционального покрытия.Метою роботи є дослідження можливості застосування плазмово-імерсійної технології для локальної зміцнюючої обробки зовнішніх поверхонь тертя габаритних трубчастих деталей і групової зміцнюючої обробки об'ємних деталей з розвиненою геометрією зовнішньої поверхні. Розглядається комплексна технологія, що включає високоінтенсивну низькоенергетичну імплантацію азоту і нанесення функціонального наноструктурного покриття.The aim of this work is to study the possibility of using a plasma immersion technology in the local strengthening treatment of the outer friction surfaces of properly sized tubular parts and the group strengthening treatment of sculpture parts whose outer surface has a developed geometry. Consideration is given to a package technology that includes a high-intensity low-energy nitrogen implantation and the deposition of a nanostructure functional coating.