Plasma treatment of titanium dioxide film for black TiO₂

Abstract

The results of the treatment of TiO₂ film in volume discharge with an Ar/H₂ mixture are presented. The treated film demonstrates the changes in transparency and conductivity. Raman spectra show no changes in the phase state of the film after plasma treatment.Представлено результати обробки плівки ТіО₂ в об’ємі розряду на суміші Ar/H₂. Оброблена плівка демонструє зміни в прозорості та провідності. Раманівські спектри показують відсутність змін у поліморфному стані плівки після плазмової обробки.