Перспективні нанорозмірні сегнетоелектрики, сумісні з напівпровідниковими технологіями (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 22 січня 2025 р.)

Abstract

У доповіді обговорено результати фундаментальних і прикладних досліджень, проведених в Інституті проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України, зі створення й технологічного освоєння сегнетоелектричних наноматеріалів на основі простих оксидів і нітридів, зокрема плівок, частинок, а також їх композитів з полімерними матеріалами. Завдяки цим роботам започатковано новий напрям наукових досліджень «кремнійсумісні наносегнетоелектрики» і запропоновано нову групу сегнетоелектричних наноматеріалів, які здатні задовольнити потреби сучасної індустрії виробництва напівпровідникових приладів.The report discusses the results of fundamental and applied research conducted at the I.M. Frantsevich Institute for Problems of Materials Science of the National Academy of Sciences of Ukraine on the creation and technological development of ferroelectric nanomaterials based on simple oxides and nitrides, including films, particles, and their composites with polymeric materials. Thanks to these works, a new area of scientific research “silicon-compatible nanoferroelectrics” was initiated and a new group of ferroelectric nanomaterials was proposed, which are able to meet the needs of the modern semiconductor device manufacturing industry.