Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы

Abstract

Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости.Розглянуто питання проектування, технології та виготовлення двосторонніх кремнієвих мікростріпових детекторів на стандартному обладнанні технологічної лінії в умовах серійного виробництва кремнієвих інтегральних схем. Представлено розробку прототипу детектора високоенергетичних часток для експерименту ALICE (CERN). . Виготовлені детектори порівнянні за параметрами з аналогічними зарубіжними детекторами, проте відрізняються меншою вартістю.The problems of design, technology and manufacturing double-sided silicon microstrip detectors using standard equipment production line in mass production of silicon integrated circuits are considered. The design of prototype high-energy particles detector for experiment ALICE (CERN) is presented. The parameters of fabricated detectors are comparable with those of similar foreign detectors, but they are distinguished by lesser cost.