Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей
Завантаження...
Файли
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Проанализирована возможность использования многослойных толстопленочных структур планарного типа на основе манганатной и алюминатной шпинельной оксидной керамики в качестве интегральных сенсоров влажности и температуры.
Опис
Теми
Сенсоэлектроника
Цитування
Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей / Н.М. Вакив // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 1. — С. 32-34. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.