Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Рассматриваются электрические и детектирующие свойства пленок фталоцианина кремния. Показано влияние технологических параметров, воздействия температуры и концентрации оксидов азота на эти свойства.
Опис
Теми
Материалы электроники
Цитування
Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂ / Х.С. Алиева, С.С. Сулейманов, М.Н. Муршудли // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 58-61. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.