Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
Завантаження...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Анотація
Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.
Опис
Теми
Технологические процессы и оборудование
Цитування
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.