Железные геттеры – возможная альтернатива титановым в электродуговых сорбционных высоковакуумных насосах

Abstract

Обнаружена высокая сорбционная способность железного геттера по азоту в электродуговом вакуумном насосе. В диапазоне исследованных давлений (0,1...1 Па) в режиме непрерывного горения дугового разряда сорбционные свойства титана и железа различаются по производительности лишь в 1,2 раза. Такое небольшое преимущество титана нивелируется большим ресурсом работы железа при одинаковых геометрических размерах катодов, безопасностью в эксплуатации железных геттеров и их коммерческой доступностью.