Електричні властивості двошарових плівок окислів металів

Abstract

Досліджені газочутливі властивості тонких двошарових плівок окислів металів, в яких нижній шар є крупнокристалічним, а верхній має високодисперсну структуру. Розглядаються фізичні основи і технологічні прийоми одержання таких плівок вакуумним методом. Двошарові плівки виявляють кращу чутливість до відновлюючих домішок у повітрі, ніж одношарові.