Новые подходы к описанию процессов вакуумирования и газоотделения

Abstract

На основе опубликованных ранее материалов [1-5] теоретически и экспериментально показаны основные закономерности влияния состояния поверхности материалов (ее температуры, степени заполнения адсорбированными молекулами, скорости диффузии из твердого тела), давления и состава окружающей среды на процессы газовыделения и вакуумирования сложных газовых систем.На основі опублікованих раніше матеріалів [1-5] теоретично і експериментально показані основні закономірності впливу стану поверхні матеріалів (її температури, міри заповнення адсорбованими молекулами, швидкості дифузії з твердого тіла), тиску і складу навколишнього середовища на процеси газовиділення і вакуумування складних газових систем.Theoretically and experimentally, based on previously published papers [1-5], are shown basic principles of influence of material surface conditions (its temperature, filling degree by adsorbed molecules, diffusion speed from solid), pressure and composition of surrounding environment on processes of gaseous removal and vacuuming in complicated gaseous systems.