Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления

Abstract

Проведена оценка степени диссоциации молекулярного водорода по измеренному отношению интенсивности линии Нα атомарного водорода и интегральной интенсивности линий фулферовой α-системы в высокочастотном разряде низкого давления с пространственно неоднородным распределением электрического поля. Полученные значения степени диссоциации характеризуют область поглощения высокочастотной мощности (скин-слой) в данном разряде.Проведена оцінка ступеня дисоціації молекулярного водороду по зміряному відношенню інтенсивності лінії Нα атомарного водороду і інтегральної інтенсивності ліній фулферової α-системи в високочастотному розряді низького тиску з просторово неоднородним розподілом электричного поля. Отримані значення ступеня дисоціації характеризують область поглинення высокочастотної потужності (скин-шар) в даному розряді.The estimate of a degree of dissociation of molecular hydrogenium under the measured ratio of intensity of a line Ha of an atomic hydrogen and integral intensity of lines fulcher α-system in high-frequency discharge of low pressure with spatially nonuniform distribution of electric field is conducted. The obtained values of a degree of dissociation characterize area of absorption of high-frequency power (skin - layer) in this discharge.