Numerical simulation of multibeam systems by EL&ION code

Abstract

Based on the tube method, taking into account the three second law for the current in each tube, the program EL&ION for preliminary rapid numerical analysis of the electron-optical system was developed, using which the system was developed for generating an ion beam of reactive gases with an energy of up to 50 keV and a current of 10…20 mA in the presence of high-density electron beam.

На основі методу трубок з урахуванням закону трьох других для струму в кожній трубці розроблена програма EL-ІON попереднього швидкого чисельного аналізу електронно-оптичної системи, за допомогою якої була розрахована система формування пучка іонів реакційно-здатних газів з енергією до 50 кеВ і струмом 10…20 мА при наявності електронного пучка з високою густиною.

На основе метода трубок с учетом закона трех вторых для тока в каждой трубке разработана программа EL-ION предварительного быстрого численного анализа электронно-оптической системы, с помощью которой была рассчитана система формирования пучка ионов реакционно-способных газов с энергией до 50 кэВ и током 10…20 мА при наличии высокоплотного электронного пучка.