Адгезионная прочность нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым методом

Abstract

Проведен сравнительный анализ механических характеристик покрытий TiN, Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения (импульсный режим). Показано, что совокупность различных параметров таких, как акустическая эмиссии, коэффициент трения, глубина проникновения индентора, величина нормальной нагрузки позволяет определить пороговое значение критической нагрузки, приводящее к различным типам разрушения (адгезионного и когезионного) покрытий.

Проведено порівняльний аналіз механічних характеристик покриттів TiN, Zr-Ti-Si-N, отриманих вакуумно-дуговим методом з використанням ВЧ напруги (імпульсний режим). Показано, що сукупність різних параметрів таких, як акустична емісії, коефіцієнт тертя, глибина проникнення індентора, величина нормального навантаження дозволяє визначити граничне значення критичного навантаження, що призводять до різних типів руйнування (адгезійного та когезійного) покриттів.

A comparative analysis of the mechanical characteristics of coatings TiN, Zr-Ti-Si-N, obtained by vacuum-arc method using HF voltage (pulse mode). Shown that the combination of different parameters such as acoustic emission, friction coefficient, penetration depth of the indenter, the value of the normal load to determine the threshold values of critical load, leading to different types of destruction (adhesive and cohesive) coatings.