Влияние состава электролита на величину порогового напряжения начала порообразования фосфида индия

Abstract

Представлены результаты экспериментального определения величины порогового напряжения начала порообразования для кристаллов n-InP (100) с концентрацией носителей заряда 2,3⋅10¹⁸ см⁻³. Было показано, что величина порогового напряжения начала порообразования является функцией состава электролита, в частности зависит от концентрации кислоты в растворе электролита.

Запропоновано результати експериментального визначення величини граничної напруги пороутворення для кристалів n-InP (100) з концентрацією носіїв заряду 2,3⋅101¹⁸ см⁻³. Було показано, що гранична напруга початку пороутворення є функцією складу електроліту, зокрема залежить від концентрації кислоти в розчині електроліту.

The results of experimental determination of the threshold voltage of the beginning of pore formation for crystals of n-InP (100) with carrier concentration 2.3⋅10¹⁸ sm⁻³ It was shown that the threshold voltage beginning of pore formation is a function of electrolyte composition, in particular, depends on the concentration of acid in the electrolyte solution.