Installation for gas-phase deposition of materials

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorLonin, Yu.F.
dc.contributor.authorPilipets, Yu.O.
dc.contributor.authorKhovansky, N.A.
dc.contributor.authorSheremet, V.I.
dc.contributor.authorShirokov, B.M.
dc.date.accessioned2015-03-25T20:50:35Z
dc.date.available2015-03-25T20:50:35Z
dc.date.issued2004
dc.description.abstractThe installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by flow-around of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated.uk_UA
dc.description.abstractРозроблена установка для газофазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку парагазової суміші в реакційному об’ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Досліджені процеси осадження вольфраму та карбіду бора.uk_UA
dc.description.abstractРазработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических па- раметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Иссле- дованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора.uk_UA
dc.identifier.citationInstallation for gas-phase deposition of materials / Yu.F.Lonin, Yu.O.Pilipets, N.A.Khovansky, V.I.Sheremet, B.M.Shirokov // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 1. — С. 221-222. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.otherPACS: 29.17.+w
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79080
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofВопросы атомной науки и техники
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectПрименение ускоренных пучковuk_UA
dc.titleInstallation for gas-phase deposition of materialsuk_UA
dc.title.alternativeУстановка для осадження матеріалів із газової фазиuk_UA
dc.title.alternativeУстановка для осаждения материалов из газовой фазыuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
73-Lonin.pdf
Розмір:
392.47 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Вопросы атомной науки и техники, 2004, № 1