Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
| dc.contributor.author | Изотов, А.И. | |
| dc.contributor.author | Кильман, Г.В. | |
| dc.contributor.author | Сироткин, В.В. | |
| dc.contributor.author | Шалаев, Р.В. | |
| dc.contributor.author | Прудников, А.М. | |
| dc.date.accessioned | 2020-04-22T17:53:32Z | |
| dc.date.available | 2020-04-22T17:53:32Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина оптической щели вследствие избирательного стравливания sp²-гибридизированного углерода. | uk_UA |
| dc.description.abstract | The effect of supercritical isopropanol treatment on the optical properties of carbon nitride films is studied. The films are grown by magnetron sputtering of a graphite target on cover glass substrates. As a result of treatment, the transparency of the films is increased as well as the width of the optical gap due to selective etching of the sp²-hybridized carbon. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 0868-5924 | |
| dc.identifier.other | PACS: 81.15.Gh, 81.60.–j | |
| dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168135 | |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Физика и техника высоких давлений | |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.title | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода | uk_UA |
| dc.title.alternative | The effect of supercritical fluid treatment on the optical properties of carbon nitride films | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |