Получение и свойства пористого карбида кремния
| dc.contributor.author | Светличная, Л.А. | |
| dc.contributor.author | Московченко, Н.Н. | |
| dc.contributor.author | Серба П.В. | |
| dc.date.accessioned | 2014-01-21T20:43:53Z | |
| dc.date.available | 2014-01-21T20:43:53Z | |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.description.abstract | Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 2225-5818 | |
| dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530 | |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Технология и конструирование в электронной аппаратуре | |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.subject | Материалы электроники | uk_UA |
| dc.title | Получение и свойства пористого карбида кремния | uk_UA |
| dc.title.alternative | Здобування та властивості пористого карбіду кремнію | uk_UA |
| dc.title.alternative | Reception and properties porous silicon carbide | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- 16-Svetlichnaya.pdf
- Розмір:
- 427.84 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 817 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: