Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ

Скорочена інформація про документ
dc.date.accessioned2018-07-15T11:15:47Z
dc.date.available2018-07-15T11:15:47Z
dc.date.issued1998
dc.description.abstractПредназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1.uk_UA
dc.identifier.citationУстановка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140770
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectНаучно-промышленные центры СНГuk_UA
dc.titleУстановка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
04-Facility.pdf
Розмір:
141.72 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструиров. в электронной аппаратуре, 1998, № 3-4