Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering

dc.contributor.authorZayats, M.S.
dc.contributor.authorBoiko, V.G.
dc.contributor.authorGentsar, P.O.
dc.contributor.authorVuichyk, M.V.
dc.contributor.authorLytvyn, O.S.
dc.contributor.authorStronski, A.V.
dc.date.accessioned2018-06-14T16:28:56Z
dc.date.available2018-06-14T16:28:56Z
dc.date.issued2010
dc.identifier.citationOptical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering / M.S. Zayats, V.G. Boiko, P.O. Gentsar, M.V. Vuichyk, O.S. Lytvyn, A.V. Stronski // Functional Materials. — 2010. — Т. 17, № 2. — С. 209-212. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1027-5495
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135183
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНТК «Інститут монокристалів» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofFunctional Materials
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectCharacterization and propertiesuk_UA
dc.titleOptical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputteringuk_UA
dc.title.alternativeОптичні властивості плівок AlN/n-Si(111) отриманих методом високочастотного реактивного магнетронного розпиленняuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
12-Zayats.pdf
Розмір:
695.9 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: