Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering
dc.contributor.author | Zayats, M.S. | |
dc.contributor.author | Boiko, V.G. | |
dc.contributor.author | Gentsar, P.O. | |
dc.contributor.author | Vuichyk, M.V. | |
dc.contributor.author | Lytvyn, O.S. | |
dc.contributor.author | Stronski, A.V. | |
dc.date.accessioned | 2018-06-14T16:28:56Z | |
dc.date.available | 2018-06-14T16:28:56Z | |
dc.date.issued | 2010 | |
dc.identifier.citation | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering / M.S. Zayats, V.G. Boiko, P.O. Gentsar, M.V. Vuichyk, O.S. Lytvyn, A.V. Stronski // Functional Materials. — 2010. — Т. 17, № 2. — С. 209-212. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. | uk_UA |
dc.identifier.issn | 1027-5495 | |
dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135183 | |
dc.language.iso | en | uk_UA |
dc.publisher | НТК «Інститут монокристалів» НАН України | uk_UA |
dc.relation.ispartof | Functional Materials | |
dc.status | published earlier | uk_UA |
dc.subject | Characterization and properties | uk_UA |
dc.title | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering | uk_UA |
dc.title.alternative | Оптичні властивості плівок AlN/n-Si(111) отриманих методом високочастотного реактивного магнетронного розпилення | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 1 з 1
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 817 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: