Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛебедева, Т.С.
dc.contributor.authorШпилевой, П.Б.
dc.contributor.authorВойтович, И.Д.
dc.date.accessioned2014-11-11T06:43:36Z
dc.date.available2014-11-11T06:43:36Z
dc.date.issued2003
dc.description.abstractПриведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-лучевым способом и магнетроном, с формированием барьерного оксида AlOx термическим окислением и в тлеющем разряде магнетрона. Продемонстрировано применение метода для контроля формирования нано­структурированных анодных пленок оксида алюминия. Показана плодотворность метода для экспресс-контроля тонкопленочных технологий.uk_UA
dc.identifier.citationПрименение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.udc539.216.2:691.5
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70698
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнология производстваuk_UA
dc.titleПрименение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структурuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
13-Lebedeva.pdf
Розмір:
109.24 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003, № 5