Кінетичні розмірні ефекти у багатошарових плівках з полікристалічною структурою

Abstract

В огляді систематизовано результати теоретичних та експериментальних досліджень транспортних розмірних ефектів у багатошарових плівках (БП) з полікристалічною структурою, кінетичні характеристики яких суттєво відрізняються від відповідних характеристик масивних металів і тонких металевих плівок.

In a given review, the results of theoretical and experimental investigations of transport size effects in multilayer polycrystalline films (MLF), whose kinetic characteristics are appreciably differing from the characteristics of bulk metals and thin films forming these multilayers, are systemized.

В обзоре систематизированы результаты теоретических и экспериментальных исследований транспортных размерных эффектов в многослойной пленке (МС) с поликристаллической структурой, кинетические характеристики которой существенно отличаются от соответствующих характеристик массивных металлов и тонких металлических пленок.