Алгоритмічні моделі акустичних мікрофонів для інформаційної технології аналізу та синтезу МЕМС на компонентному рівні

Abstract

В статті представлено розроблені моделі акустичних елементів МЕМС на основі теорії тонких пластин і наведені результати їх аналізу. Побудовані моделі дають змогу врахувати нелінійні, нестаціонарні процеси та ізотропію матеріалу пружного елемента.

The developed models of acoustic elements of MEMS are presented on the basis of theory of laminas and the results of their analysis are presented in the article. The built models enable to take into account nonlinear, transients and isotrophia of material of resilient element.