Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
dc.contributor.author | Соболь, О.В. | |
dc.date.accessioned | 2010-04-19T14:37:28Z | |
dc.date.available | 2010-04-19T14:37:28Z | |
dc.date.issued | 2008 | |
dc.description.abstract | Рассмотрен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием, как результат действия высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное – кристаллическое β-мета-стабильной фазы – кристаллическое α-стабильной фазы. | uk_UA |
dc.description.abstract | Розглянутий механізм формування конденсату з іонно-плазмових потоків, який включає два основних процеси: приповерхневу імплантацію, яка супроводжується атомним перемішуванням, як наслiдок дiї високоенергетичних часток, що осаджуються, та конденсацію низькоенергетичних частинок при якої у залежності від температури осадження має мiсце утворення структурних станів у послiдовностi: аморфно-кластерний – кристалічної β-метастабільної фазикристалічної α-стабільної фази. | uk_UA |
dc.description.abstract | The mechanism of condensate formation from ionplasma fluxes was proposed which included two main processes: sub-surface implantation accompanied intermixing– for high-energy deposited particles, and low-energy particle condensation at which the consequence of structure states: amorphous-cluster – crystalline metastable β-phase – crystalline stable α-phase passes depending on the deposition temperature. | uk_UA |
dc.identifier.citation | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О.В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 20-36. — Бібліогр.: 48 назв. — рос. | uk_UA |
dc.identifier.issn | 1999-8074 | |
dc.identifier.udc | 538.91 :539.216.2: 539.219.3: 539.234 | |
dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7856 | |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України | uk_UA |
dc.status | published earlier | uk_UA |
dc.title | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением | uk_UA |
dc.title.alternative | Механізм формування фазово-структурного стану конденсатів, одержаних іонним розпиленням | uk_UA |
dc.title.alternative | Phase and structure formation mechanism of ion-sputtered condensates | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 1 з 1
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 929 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: