Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением

dc.contributor.authorСоболь, О.В.
dc.date.accessioned2010-04-19T14:37:28Z
dc.date.available2010-04-19T14:37:28Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractРассмотрен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием, как результат действия высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное – кристаллическое β-мета-стабильной фазы – кристаллическое α-стабильной фазы.uk_UA
dc.description.abstractРозглянутий механізм формування конденсату з іонно-плазмових потоків, який включає два основних процеси: приповерхневу імплантацію, яка супроводжується атомним перемішуванням, як наслiдок дiї високоенергетичних часток, що осаджуються, та конденсацію низькоенергетичних частинок при якої у залежності від температури осадження має мiсце утворення структурних станів у послiдовностi: аморфно-кластерний – кристалічної β-метастабільної фазикристалічної α-стабільної фази.uk_UA
dc.description.abstractThe mechanism of condensate formation from ionplasma fluxes was proposed which included two main processes: sub-surface implantation accompanied intermixing– for high-energy deposited particles, and low-energy particle condensation at which the consequence of structure states: amorphous-cluster – crystalline metastable β-phase – crystalline stable α-phase passes depending on the deposition temperature.uk_UA
dc.identifier.citationМеханизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О.В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 20-36. — Бібліогр.: 48 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1999-8074
dc.identifier.udc538.91 :539.216.2: 539.219.3: 539.234
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7856
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherНауковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниuk_UA
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleМеханизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылениемuk_UA
dc.title.alternativeМеханізм формування фазово-структурного стану конденсатів, одержаних іонним розпиленнямuk_UA
dc.title.alternativePhase and structure formation mechanism of ion-sputtered condensatesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
02-Sobol.pdf
Розмір:
530.58 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
929 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: