Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorAksenov, I.I.
dc.date.accessioned2015-03-30T09:23:13Z
dc.date.available2015-03-30T09:23:13Z
dc.date.issued2002
dc.description.abstractThis article is a brief historical review of R&D carried out by the KIPT scientists in the field of magnetic filtering of vacuum-arc plasma flows to be applied in thin film deposition technology.uk_UA
dc.identifier.citationMagnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems / I.I. Aksenov // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 5. — С. 139-141. — Бібліогр.: 26 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.otherPACS: 52.77.-j
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79281
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofВопросы атомной науки и техники
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectLow temperature plasma and plasma technologiesuk_UA
dc.titleMagnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systemsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
45-Aksenov.pdf
Розмір:
269.85 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Вопросы атомной науки и техники, 2002, № 5