Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату

Abstract

В роботі представлено та апробовано на гетероструктурі ЗІҐ/ҐҐҐ сформований цілісний комплекс існуючих неруйнівних методів та методик для проведення повної оцінки структурної досконалості епітаксійних ферит-гранатових плівок.В работе представлен и апробирован на гетероструктуре ЖИГ/ГГГ сформированный целостный комплекс существующих неразрушающих методов и методик для проведения полной оценки структурного совершенства эпитаксиальных ферит-гранатовых пленок.The paper presents and tested for heterostructure YIG/GGG formed a coherent set of existing non-destructive methods and techniques for a full assessment of structural perfection of epitaxial ferrite-garnet films.