Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorНовосядлый, С.П.
dc.date.accessioned2018-07-15T08:16:38Z
dc.date.available2018-07-15T08:16:38Z
dc.date.issued1998
dc.identifier.citationТехнология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/140765
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectДепонированные рукописиuk_UA
dc.titleТехнология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схемuk_UA
dc.title.alternativeТехнологiя локальної iзоляцiї активних елементiв великих iнтегральних схемuk_UA
dc.title.alternativeThe technology of local insulation of LSIC active elementsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
16-Novosiadly.pdf
Розмір:
78.75 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструиров. в электронной аппаратуре, 1998, № 2