Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем

dc.contributor.authorОпалев, О.А.
dc.contributor.authorПашнев, В.К.
dc.contributor.authorКовальчук, И.К.
dc.contributor.authorСтрельницкий, В.Е.
dc.contributor.authorБелоус, В.А.
dc.contributor.authorКолупаева, З.И.
dc.date.accessioned2015-03-12T20:08:31Z
dc.date.available2015-03-12T20:08:31Z
dc.date.issued2000
dc.description.abstractЦелью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама.uk_UA
dc.identifier.citationСинтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.udc546.26.-162
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofВопросы атомной науки и техники
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectФизика радиационных и ионно-плазменных технологийuk_UA
dc.titleСинтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полемuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
32-Opalev.pdf
Розмір:
244.23 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: