Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
| dc.contributor.author | Опалев, О.А. | |
| dc.contributor.author | Пашнев, В.К. | |
| dc.contributor.author | Ковальчук, И.К. | |
| dc.contributor.author | Стрельницкий, В.Е. | |
| dc.contributor.author | Белоус, В.А. | |
| dc.contributor.author | Колупаева, З.И. | |
| dc.date.accessioned | 2015-03-12T20:08:31Z | |
| dc.date.available | 2015-03-12T20:08:31Z | |
| dc.date.issued | 2000 | |
| dc.description.abstract | Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1562-6016 | |
| dc.identifier.udc | 546.26.-162 | |
| dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78213 | |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Вопросы атомной науки и техники | |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.subject | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий | uk_UA |
| dc.title | Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 1 з 1
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 817 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: