Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКаримов, А.В.
dc.contributor.authorЁдгорова, Д.М.
dc.contributor.authorСаидова, Р.А.
dc.contributor.authorГиясова, Ф.А.
dc.contributor.authorХайдаров, Ш.А.
dc.date.accessioned2014-01-08T22:14:14Z
dc.date.available2014-01-08T22:14:14Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractМодифицировано устройство для жидкостной эпитаксии полупроводниковых соединений типа АIIIВV. Показана возможность управления градиентом концентрации примесей, создающим внутренние электрические поля в фотоприемной и активной областях структур.uk_UA
dc.identifier.citationОптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Р.А. Саидова, Ф.А. Гиясова, Ш.А. Хайдаров // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52896
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleОптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоевuk_UA
dc.title.alternativeОптимізація розподілення концентрації носіїв по товщиніепітаксійних шарівuk_UA
dc.title.alternativeOptimization of the concentration's distribution of the carriers on thickness of epitaxial layersuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
12-Karimov.pdf
Розмір:
312.2 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007, № 6