Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЖавжаров, Е.Л.
dc.contributor.authorМатюшин, В.М.
dc.date.accessioned2014-01-14T23:14:48Z
dc.date.available2014-01-14T23:14:48Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractОпределена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров.uk_UA
dc.identifier.citationВзаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52976
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectМатериалы электроникиuk_UA
dc.titleВзаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремнияuk_UA
dc.title.alternativeВзаємодія атомарного водню з поверхнею монокристалів кремніюuk_UA
dc.title.alternativeThe influence of atomic hydrogen on surface of monocrystals of siliconuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
16-Zhavzharov.pdf
Розмір:
117.74 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006, № 4