Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorГлушко, А.А.
dc.contributor.authorРодионов, И.А.
dc.contributor.authorМакарчук, В.В.
dc.date.accessioned2014-01-07T23:16:03Z
dc.date.available2014-01-07T23:16:03Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractРассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.uk_UA
dc.identifier.citationМоделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52830
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleМоделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCADuk_UA
dc.title.alternativeМоделювання технології виготовлення субмікронних КМОН НВІС за допомогою систем TCADuk_UA
dc.title.alternativeTechnological processes modelling of submicron CMOS VLSI producing with the modern TCAD systemsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
08-Glushko.pdf
Розмір:
125 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007, № 4